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本文標(biāo)題:"STEM為掃描穿透電子顯微鏡-場(chǎng)發(fā)射式TEM加裝了掃描線(xiàn)圈與環(huán)狀暗視野偵測(cè)器"

新聞來(lái)源:未知 發(fā)布時(shí)間:2012-5-7 23:26:45 本站主頁(yè)地址:http://m.bailemeng6.cn

TEM的配備儀器

TEM可以搭配額外的儀器或配備以提升或增加它的性能,如STEM、HAADF、EELS和EDS,

STEM為掃描穿透電子顯微鏡,全名是Scanning Transmission Electron Microscopy,場(chǎng)發(fā)射式TEM加裝了掃描線(xiàn)圈與環(huán)狀暗視野偵測(cè)器(Annular Dark Field Detector, ADF)就成為了STEM,圖3.4.41為STEM的基本架構(gòu)圖,一般的TEM是利用物鏡光圈與入射電子束相對(duì)位置的改變來(lái)取得明暗視野的影像,而STEM則是利用不同角度的偵測(cè)器來(lái)區(qū)分,如圖3.4.42,明視野影像偵測(cè)器與電子束的夾角小于10mrad,而環(huán)狀暗視野偵測(cè)器則介于10到50mrad間,至于高角度環(huán)狀暗視野偵測(cè)器(High Angle Annular Dark Field Detector, HAADF)則是大于50 mrad

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