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本文標題："掃描延伸電阻顯微鏡的應用有哪些？"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2012-12-9 13:03:22 本站主頁地址：http://m.bailemeng6.cn
掃描延伸電阻顯微儀是對映出樣品內(nèi)隱含的電導率或電阻率的二維分佈對比影像，可應用于半導體性及III-V、II- V I半導體，如LEDs、photo-detectors及l(fā)aser diode等。
此外SSRM對微小變量的摻雜濃度，亦有極佳的解析能力。
因為導電式顯微儀的電流感測靈敏度極佳，
故可應用于電性極差或厚度為奈米尺度的絕緣性樣品，如半導體、DLC薄膜、生醫(yī)材料（bio-materials）、導電高分子（conductive polymer）、氧化物（oxides）
及鐵電材料忙（ferro-electric material）。
例如
（1）應用于檢測介電層薄膜的電性瑕疵：在樣品SiO2，可藉由此方法來判斷薄膜的均勻性或介電層的崩潰電壓；
（2）應用于檢測連電性高分子薄膜的電性。
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