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本文標題："精密微電鑄制程加工焊接測定體視顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-11-7 0:32:16 本站主頁地址：http://m.bailemeng6.cn
研究精密微電鑄制程中，以UV-LIGA制程技術(shù)，同時以不銹鋼片(SUS-301)作為基材，
經(jīng)由黃光微影制程技術(shù)達到光刻模板的效果。以電鑄銅制作犧性層，
并在銅犧牲層之上堆疊電鑄鎳結(jié)構(gòu)層，再移除銅犧牲層，達成微懸臂梁結(jié)構(gòu)懸空于基材的狀態(tài)。
研究中探討微影制程參數(shù)以及電鑄技術(shù)的操作條件、參數(shù)設(shè)定對微結(jié)構(gòu)成型的影響，
與了解厚膜負光阻JSR-120N性質(zhì)，及銅犧性層溶解去除的操作，
皆為此研究的主要內(nèi)容
;同時對制程中包括軟烤條件、曝光時間條件及顯影條件作分析
，探討各微影參數(shù)對厚膜光阻JSR-120N微影技術(shù)的影響，
并利用脈沖電流來提高鎳結(jié)構(gòu)表面品質(zhì)
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