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本文標題："材料的電學鑒定冶金加工器件體積測定顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-11-11 16:37:41 本站主頁地址：http://m.bailemeng6.cn
材料的電學鑒定冶金加工器件體積測定顯微鏡
冶 金 學
在低溫下形成勢壘接觸的冶金學是比較簡單的，因為金屬與
半導(dǎo)體不發(fā)生反應(yīng)。但是，當在高溫下要形成歐姆接觸或穩(wěn)定的
勢壘結(jié)構(gòu)而進行燒結(jié)時，就會發(fā)生強烈的反應(yīng)。低阻歐姆接觸的
要求是：
①接觸金屬應(yīng)當與半導(dǎo)體均勻地浸潤并起反應(yīng)。
②應(yīng)當形成一個均勻的高摻雜區(qū)，用它產(chǎn)生具有歐姆行為的
低接觸電阻。
④這個接觸體系應(yīng)當與所用的其它金屬相熔合，并能在以后
的整個加工程序中保持牢固不壞。
通常使用的接觸金屬所包含的摻雜劑，n型的有錫，銦或鍺；
P型的有鋅或錳，并與金，銀或鎳組成合金。后者提供一個適于
焊接引線的表面，并且在合金過程中使低熔點的摻雜劑直接與半
導(dǎo)體接觸。
材料的電學鑒定是一個復(fù)雜而廣泛的研究課題。它包括體材
料的分析，監(jiān)控薄的外延層(與器件層同時生長的)，在整個片
子表面上平均值的測量，特定器件中的體積測定，對完整器件的
測量以及為了確定材料的某種特性而進行的試驗等等。
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