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本文標(biāo)題："測(cè)量?jī)x器的分辨力表面形貌的特征分析顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-12-7 16:39:16 本站主頁地址：http://m.bailemeng6.cn
測(cè)量?jī)x器的分辨力表面形貌的特征分析顯微鏡
提供一種通過不濾波的方式將原始輪廓直接分離粗糙度和波紋度的
圖形的評(píng)定方法，綜合考慮了幅值和間距的影響，因此比中線制評(píng)定
方法更好地反映了表面形貌的特征。該方法不僅簡(jiǎn)單，而且適合于多種
功能特性的評(píng)定。此外，研究表叫由于表面的多尺度屬性，斜率和曲率
的方差很強(qiáng)地依賴于測(cè)量?jī)x器的分辨力或使用的濾波形式，因此對(duì)同一
個(gè)表面其值不再是唯一的。
表面形貌是一個(gè)不穩(wěn)定的隨機(jī)過程，該過程的高度分布方差取決于
采樣的長(zhǎng)度，根據(jù)這種尺度依賴性建議：具有不同分辨力和掃描長(zhǎng)度的
儀器，對(duì)于相同的通過對(duì)表面形貌信號(hào)逐步分解，并選取適當(dāng)?shù)姆纸珙l
率對(duì)此信號(hào)重構(gòu)，可以精確地確定理想的評(píng)定基準(zhǔn)。
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